第一部分 靜電損傷的技術機理
一 引言
1 認識電子元器件的門類
2 靜電對電子產品、環(huán)境、人體等的危害
3 靜電危害的特點
4 企業(yè)做好靜電防護的意義
5 當前國內企業(yè)的靜電防護工作中主要問題
6 靜電防護涉及的主要相關工作方面歸納
二 靜電及靜電損傷的基礎知識
1 基本概念(靜電、靜電位、靜電放電、靜電放電的特點)
2 靜電的產生方式(摩擦起電、剝離起電、感應靜電等)
3 靜電的來源(人體帶電、儀器設備帶電、器件本身帶電、其它來源)
4 靜電的消散
5 靜電放電的主要模型(HBM、MM、CDM等,以及元器件的靜電敏感度)
三 靜電損傷失效模式與失效機理
1 ESD失效模式特征(突發(fā)性失效、潛在性失效,以及失效模式的特征)
2 ESD失效機理(過電壓場致失效、過電流熱致失效,各敏感元器件類型所對應的失效模式、失效機理的歸納,物料分類對現(xiàn)場靜電防護的意義)
3 ESD損傷的失效分析技術(分析的原則、分析的技術流程、主要的分析技術方法:I-V測試、光學顯微觀察、掃描電鏡觀察、光發(fā)射顯微分析、芯片去層剝離等)
4 ESD和EOS的判別方法講解
四 完整的靜電損傷分析案例解析
1電壓比較器失效(電分析、模擬比較、電路分析)
2汽車鑰匙芯片失效(器件的電分析、芯片微觀分析、OBRICH定位、參數(shù)分析與模擬、加工過程靜電危害度排查、電路分析、歷史數(shù)據統(tǒng)計分析,綜合分析及結論)
3微波功分器失效
4發(fā)光二極管案例
5 MOS管失效案例
第二部分 電子制造的靜電防護工程實踐
一 靜電防護工程的實施依據(標準介紹)
1 相關的標準化組織(國內標準化組織、國際標準化組織、ANSI/ESDA)
2 靜電防護體系標準(國內靜電防護標準、國際靜電防護標準、ESDA標準)
3 ANSI/ ESD S20.20標準介紹(新版變化的主要方面、標準的內容介紹)
4 如何持續(xù)實施ESD標準(團隊、標準、培訓、組織評估調查、計劃及實施、資源、核查、改進;實施防護的關鍵因素;文件體系;體系審核)
二 靜電防護的基本工作思路
1 建立完善的ESD管理體系
建立管理體系及控制方案計劃
建立靜電防護的管理組織
確定靜電敏感器件及現(xiàn)場靜電防護的等級
制定人員培訓計劃及案例
明確基礎設施保障要求
2.2 ESD防護技術原則
全面性防護與適當防護相結合
物料覆蓋的全面性
過程覆蓋的全面性
控制靜電的產生
控制靜電的消散
“等電位”為中心
三種常用的基本技術
三 靜電防護工程的具體技術要求
1靜電防護硬件條件及手段
等電位、接地的工程方法
電荷中和、阻值控制
靜電場屏蔽、濕度控制
材料選擇和工藝控制
敏感器件的標注
2靜電防護關鍵技術性要求
接地基礎系統(tǒng)(接地樁、接地主干線、防靜電地板)
防靜電工作區(qū)EPA(典型的EPA設置、EPA作用及基本要求、EPA靜電泄放回路)
防靜電材料、工具及要求(防靜電地板、臺面、座椅、設備、人體防護裝備、包裝與周轉用具、靜電消除設備,及其它器具)
靜電防護器具典型的正確與錯誤使用方法比較
絕緣材料的使用及處理
人員ESD要求
其他要求
四 靜電防護工程持續(xù)改善方法
開展失效分析技術
器件敏感度測試技術
整機的防靜電能力測試
現(xiàn)場靜電防護系統(tǒng)的周期性測試
靜電防護體系的周期性審查與培訓
第三部分 產品認可及符合性驗證技術
引:產品認可計劃、符合性驗證計劃的介紹
一 常用的靜電檢測儀表
非接觸式靜電電位計
接地電阻測量儀
兆歐表(高阻表)
萬用表
腕帶檢測儀
人體綜合電阻測試儀
連接監(jiān)測儀
離子平衡分析儀
靜電屏蔽測試儀
二 靜電檢測分類和檢測項目
按時間分:經常性、定期性和臨時性
按測試精度分:定量和定性
按場所分:現(xiàn)場測試和試驗室測試。
三 常用的靜電檢測方法介紹
1 參考標準、檢測條件、檢測對象
2 摩擦起電電壓測試
3 防靜電地極接地電阻測試
4 接地干線及支線系統(tǒng)測量
5 防靜電地板測量
6 工作臺面的材料及現(xiàn)場系統(tǒng)電阻測試
7 座椅電阻測試
8 轉運車電阻測試
9工作鞋體電阻測試
10 工位器具表面和體電阻測試
11 工作服電阻測試
12 手套和手持工具表面點對點電阻測試
13 電烙鐵測試
14 腕帶測試
15 鞋套/帶電阻測試
16 靜電消除器(離子風扇)符合性驗證
17 防靜電包裝材料的分類及測試